ST400型三维表面形貌仪是一款多功能的三维形貌仪,采用白光共聚焦技术,可实现对材料表面从纳米到毫米量级的粗糙度测试,具有测量精度高,速度快,重复性好的优点,该仪器可用于测量大尺寸样品,并具有多种选项,包含360°旋转工作台,原子力显微镜模块,光学显微镜,特征区域定位等多种功能模块。
产品特性:
采用白光共聚焦色差技术,可获得纳米级的分辨率;
测量具有非破坏性,测量速度快,精确度高;
测量范围广,可测透明、金属材料,半透明、高漫反射,低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿…);
尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面;
不受样品反射率的影响,不受环境光的影响;
测量简单,样品无需特殊处理;
Z方向测量范围大:为27mm;
主要技术参数
扫描范围:150mm×150mm(最大可选600mm*600mm);
扫描步长:0.1μm;
扫描速度:20mm/s;
Z方向测量范围:27mm;
方向测量分辨率:2nm;
产品应用
MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发。